動作
装置の上部に FFU を付け、モーターの羽根で空気を回します。ろ過した空気を装置内へ入れ、陽圧で外部の塵の入り込みを抑えます。
塵の数（1 分の累積）
導入後、塵は大きく減りました。
| 粒径 | FFU なし | FFU あり |
|---|---|---|
| 0.3 μm | 466,984 | 51,377 |
| 0.5 μm | 35,695 | 2,975 |
塵の数値は導入前後の試験結果です。保証値ではありません。
設置
用意するのは電源だけです。単相 AC 220 V / 50 Hz / 100 W。ほかの電源仕様も、指定があれば合わせられます。装置メーカー、型式、詳細仕様を先に確認し、FFU の取付板を設計・製作して取り付けます。取付時間は 1 台あたり約 20 分です。
お問い合わせ
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